應用案例

　　力矩電機在光學檢測中的應用

　　行業背景

　　近年來，在半導體、光伏行業中，力矩電機得到了越來越廣泛的推廣和應用。在這些應用中，大部分運動要求都是點到點，即運動過程并非重點關注項，而是著重關注到位精度，因此對電機的重復精度提出了高要求。

　　此類應用普遍都要求電機的重復精度在±1~±2角秒之間(1角秒=1/3600度)，較少關注電機轉動時的速度波動情況，對于客戶來說只要到位精度準確，便基本不影響應用。

　　客戶需求

　　然而，有些特殊的應用場景卻對電機提出了不一樣的要求。

　　橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量設備。通常使用雙電機運行，對位置輕微波動十分敏感，因此它對電機的速度波動要求極高。

　　當電機運行在1000rpm左右時，電機的速度波動率需控制在千分之一至萬分之一以內。此外，該應用對電機的軸跳精度要求也較高，通常要求電機的軸跳在5um以內。

　　產品推介

　　力矩電機

　　雅科貝思力矩電機——ACD系列電機是無鐵芯無刷電機，不會產生任何齒槽扭矩，從而可以實現平滑運動以及較低的速度脈動。獨特的繞組設計使其擁有高扭矩密度。

　　ACD系列

　　電機采用無鐵芯設計，無齒槽扭矩，低速度波動

　　集成高精密軸承，標準品軸向徑向端跳可低至10μm(經過特殊定制可達5μm)

　　內置高精度光柵編碼器，電機重復精度可達±3arcsec

　　中孔設計，12mm~25mm，方便客戶走線以及布局光學反饋設備

　　定制化解決方案

　　ACD系列作為雅科貝思標準品電機應用于各行各業之中，但在端跳、速度波動等一些參數方面暫時無法滿足類似橢偏儀這樣的設備。

　　因此，在ACD系列的基礎上，雅科貝思經過數月的持續研發升級，及多輪產品迭代，最終開發出能完美匹配此類對速度波動有極高要求的產品。

　　無論是正裝還是側裝，其速度波動率均可實現0.05%(實測基于1200rpm，搭配合適驅動)。從實測數據看，新研發產品已達到該應用領域的一流設計水準。

　　同時，電機的軸跳可以輕松實現5μm以內精度。

新研發產品速度波動實測結果

新研發產品軸跳測試實測結果

　　更多應用

　　除橢偏儀外，其他多種需要光學反饋的高精密、低速度波動應用均可使用該電機，例如所有與光學檢測相關的應用、恒速配藥行業等。

　　產品一經推出，便吸引了眾多客戶的興趣。經過多方嚴格測試，越來越多的行業頭部企業對該產品給予了肯定，并與雅科貝思進行了深度合作。

　　雅科貝思能依據不同客戶的不同需求，定制專業的有針對性的全套解決方案，研發出多款定制型號。

　　如需具體參數，請致電雅科貝思。