“2021年中國運動控制/直驅產業高峰論壇”在深圳隆重舉行，數位業內人士在論壇上發表精彩演講，在直驅論壇上，上海奧茵紳機電科技有限公司總經理耿新紅發表題為《基于半導體設備的直驅伺服系統產業化》的演講，上海奧茵紳機電科技作為一家從代理國外品牌到走上自主研發的國產化之路，正是直線電機在中國的發展之路，奧茵紳獨辟蹊徑，專注于DD馬達的行業應用，在半導體和面板行業積累了相當多的經驗。

奧茵紳于2009年在上海成立之初,是以代理商的身份進入了自動化行業，經過6年市場積累才確立了企業發展另一規劃，通過自主研發進入直驅行業。并在慎重考察整個市場后，確立了以DD馬達為產品線主體的策略，2021年奧茵紳銷售額達1.5億，其中80%來自于DD馬達的貢獻。

眾所周知，中國半導體行業近年的快速增長，得益于政府對該行業的政策紅利，國家出臺了一系列的政策與規劃、布局。從圖中可看到，大陸半導體設備市場規模，到2020年已達到1037億人民幣，增速達30%，隨著半導體市場體量增加，國產化率也在迅速提高，這對于核心部件廠商而言是一個機遇，觀察半導體制作工藝流程，從硅片的制造、IC的設計、前道、后道，而直驅部分多在后道應用，包括晶圓切割、劃片、AOI、清洗、監測設備、間核、探聲臺、測試和分選等等。

中國大陸半導體設備市場規模（單位：億人民幣）

半導體制作工藝流程

奧茵紳在半導體行業中的應用

首先是在晶圓切割設備中，而這其中又分為激光晶圓切割和刀輪晶圓切割兩種工藝方式，各有優劣勢。激光切割是利用激光的照射進行熔化，使得被照射區域局部熔化、氣化達到切割目的。

特點是精度高、工件不易變形、熱影響小；刀輪晶圓切割則是結合水氣電、高速主軸、精密機傳動等自動精密控制技術對石英、玻璃、硅片、陶瓷、砷化鎵、藍寶石等進行切劃加工。特點：應用多種尺寸的晶圓切割、性能穩定、成本低。還過刀輪晶圓切割應用的普遍性更高。

第二個案例是在邦定機的使用案例，邦定機使用的是三軸直驅模組，響應快，尺寸緊湊，效率比較高，調試起來的難度比較大。

第三個應用案例也是奧茵紳產品行業應用最多，即半導體測試分選設備，主要是DD馬達用在芯片封裝完最后一道。包括通電測試、鐳射打標、外觀影像檢測等等。

隨著國際關系以及疫情影響，半導體芯片產能不斷向我國轉移，英特爾（Intel）、三星（Samsung）等國際大廠陸續在我國大陸地區投資建廠，同時在集成電路產業投資基金的引導下，我國大陸集成電路生產線建設熱情高漲，對半導體設備的需求巨大。

結合全球半導體設備發展趨勢以及我國半導體設備國產替代以及下游需求旺盛的多重作用，未來幾年，我國半導體設備行業仍將保持高速增長，預計2020-2025年，我國半導體設備行業市場規模將保持在15%左右的復合增長率穩步提升，到2025年，全國半導體設備市場規模將達到298億美元。

奧茵紳前期為代理路線，所以對于市場工藝和客戶端工藝很清楚，在研發初期首選了半導體行業；其次我們具備產品的研發、設計、仿真，一套原生態研發團隊，包括電機、反饋、細分電路、補償電路等等整個核心的部件的知識產權都掌握在自己手上。最后，這也是最核心的一點，做一個產品不難，但是批量化生產就不易，奧茵紳正是通過與客戶之間不斷的測試和交流來持續改善工藝。