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相干推出用于微電子制造最高功率紫外激光器

時間：2013-04-22

來源：網絡轉載

導語：激光器本身配備全自動化諧波晶體轉換器來保持>20,000小時持續穩定的輸出功率，延長使用壽命。

相干公司最新的AVIATM微加工激光器可以在其工作波長和頻率下輸出目前工業用激光器可得到的最高功率。AVIA355-33可輸出335nm（110kHz），33瓦的激光光束。高功率可以直接有效的提高生產效率，從而降低了成本。

AVIA系列激光器在微電子制造應用中有最長時間的高可靠性，24/7連續工作的可查記錄，并有很多具體的設計來加強加工能力，減少客戶的長期成本費用。ThermEQTM，PulseEQTM可以精細的操控輸出脈沖能量，從而OEM可以定義和最優化激光加工過程。激光器本身配備全自動化諧波晶體轉換器來保持>20,000小時持續穩定的輸出功率，延長使用壽命。此外，激光器獨特的PosilockTM光束位置傳感器和反饋保證了激光器在工作壽命內光束位置的高穩定性，從而確保了加工的一致性和穩定性。

AVIA355-33可以廣泛應用于高通量微電子加工制造行業。典型的應用包括印制電路板和倒裝片的鉆孔，包含低k值電介質材料硅晶片的切割和劃線。

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