集成電路設(shè)備從樣機(jī)的誕生到最終上大生產(chǎn)線，需要一個(gè)臺階，即建立工藝實(shí)驗(yàn)線或工藝引導(dǎo)線，為設(shè)備廠商的產(chǎn)品最終進(jìn)入大生產(chǎn)線提供“實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)”。 日前，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司于在日本舉辦的“SEMICONJapan2007”上宣布，推出65納米及45納米高端芯片加工設(shè)備，而本月11日，由芯碩半導(dǎo)體（中國）有限公司研制的國內(nèi)首臺亞微米級無掩膜（直寫式）光刻機(jī)在合肥通過科技成果鑒定，一舉填補(bǔ)國內(nèi)空白，這兩條消息的相繼宣布，無疑為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展打了一劑強(qiáng)心針。 提高技術(shù)鋪平進(jìn)入大生產(chǎn)線之路 國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)水平和實(shí)用化程度正在逐步提高。然而，相對于集成電路制造業(yè)，我國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展在生產(chǎn)規(guī)模、研發(fā)水平等方面離達(dá)到大生產(chǎn)線的使用要求還有一定的距離。 中芯國際集成電路制造有限公司器件研究和對外合作處技術(shù)副處長吳漢明博士告訴《中國電子報(bào)》記者，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備與國際同業(yè)相比，起步晚，因此，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要全面進(jìn)入大生產(chǎn)線（Fab）還有相當(dāng)長的路要走。而如果要改變這種狀況，其中，最關(guān)鍵的是要在觀念上改變過去那種重設(shè)備輕工藝、重硬件輕軟件的思維方式，如果沒有先進(jìn)的工藝基礎(chǔ)，沒有良好的售后服務(wù)為前提，即使開發(fā)出設(shè)備，也不會(huì)有人來買，更談不上市場前景。這樣的教訓(xùn)以前有過，因此，半導(dǎo)體設(shè)備在研制過程中必須通過大生產(chǎn)工藝的驗(yàn)證，同時(shí)設(shè)備廠商也要提供良好的售后服務(wù)。 中科信副總經(jīng)理孫勇認(rèn)為，國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)與國外先進(jìn)設(shè)備有一定差距，尤其在設(shè)備的穩(wěn)定性及后續(xù)的技術(shù)支持等，驗(yàn)證并不是短時(shí)間就可以解決的，而是長期的過程，技術(shù)的提升與技術(shù)的解決都需要多方的共同努力。為此在關(guān)鍵裝備研發(fā)、制造等方面需要整合國內(nèi)外各方面的技術(shù)優(yōu)勢。 他強(qiáng)調(diào)，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價(jià)格優(yōu)勢，抓住國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的有利時(shí)機(jī)，提高自己的技術(shù)水平，進(jìn)一步縮小與國外先進(jìn)設(shè)備的技術(shù)差距，提升國產(chǎn)設(shè)備的市場競爭力；同時(shí)企業(yè)應(yīng)建立起快速反應(yīng)的市場服務(wù)機(jī)制，以贏得國內(nèi)IC制造廠商的青睞。 發(fā)展國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，還要重視對外合作。上海微電子裝備有限公司總經(jīng)理賀榮明在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)要發(fā)展，如果光靠設(shè)備廠商自己埋頭苦干，不與外界交流合作，那么肯定步履維艱。對外合作與自身發(fā)展要結(jié)合起來，辯證地看，如果不苦練內(nèi)功，把所有的希望都寄托在對外合作上，那么肯定得不到好的合作；相反，如果只顧悶頭拉車，把門關(guān)死，就會(huì)變成封閉式發(fā)展。所以，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商只有在壯大自己的同時(shí)，以開放的心態(tài)積極開展對外交流合作，才會(huì)獲得合作方的尊重，合作才能更有效。 跨越專利障礙迫在眉睫 專利一直是困擾國內(nèi)企業(yè)的難題，無論是IC設(shè)計(jì)還是半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)要想持續(xù)發(fā)展，跨越專利障礙都至關(guān)重要。國內(nèi)企業(yè)必須進(jìn)一步進(jìn)行自主知識產(chǎn)權(quán)的開發(fā)，不斷完善提高國產(chǎn)裝備設(shè)計(jì)、制造水平，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的裝備技術(shù)。 吳漢明解釋說，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)面臨的重大挑戰(zhàn)是自主知識產(chǎn)權(quán)和核心專利的保護(hù)。企業(yè)可以采取一系列的辦法來跨越專利障礙，例如：與世界一流的設(shè)備企業(yè)聯(lián)合，共同開發(fā)新產(chǎn)品新工藝，可以考慮以市場換技術(shù)等具體方式；關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化也極為重要，應(yīng)加強(qiáng)與高端用戶的直接合作；聯(lián)合國內(nèi)的所有頂尖院校和研究所，引進(jìn)國際上的先進(jìn)技術(shù)人才。因此，在設(shè)立設(shè)備項(xiàng)目時(shí)，要充分考慮技術(shù)來源，專利保護(hù)等問題，在考慮技術(shù)難度大、易受國外制約的關(guān)鍵設(shè)備的同時(shí)，要給技術(shù)難度相對小而又量大面廣的設(shè)備以足夠的重視，具體的設(shè)備立項(xiàng)要經(jīng)過充分論證，切忌草率上馬，一哄而上。 可喜的是，國內(nèi)設(shè)備廠商已加強(qiáng)了在這方面的工作。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯介紹說，中微對專利技術(shù)和商業(yè)機(jī)密管理是非常嚴(yán)格的，我們已經(jīng)研究了歷史上2000多項(xiàng)和我們公司技術(shù)產(chǎn)品有關(guān)的專利，包括美國、日本、歐洲和我國臺灣的專利，所以我們完全知道目前的專利情況。我們也在美國、韓國和日本等國家和我國臺灣地區(qū)不斷申請自己的專利，建立自己專利池。 國家支持依然關(guān)鍵 在采訪過程中，業(yè)內(nèi)人士均表示，除了設(shè)備企業(yè)自身的努力外，對于這種戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，國家的支持顯得尤為關(guān)鍵。 由于IC裝備的研發(fā)、制造和工藝驗(yàn)證需要大量資金和技術(shù)支持，因此政府應(yīng)該站在國家戰(zhàn)略的高度加大對集成電路制造裝備的支持力度。孫勇告訴記者，在資金方面，國家應(yīng)在設(shè)備的研究與開發(fā)、設(shè)備的生產(chǎn)線驗(yàn)證、關(guān)鍵部件采購等方面進(jìn)行大力投入；在政策方面，國家應(yīng)在國內(nèi)大生產(chǎn)線制定國產(chǎn)設(shè)備的配置比例，實(shí)施優(yōu)惠待遇，鼓勵(lì)和支持國內(nèi)大生產(chǎn)線購買國產(chǎn)設(shè)備。 吳漢明也發(fā)表了相同的看法，他說，國家的支持可分為政策支持和財(cái)政支持兩個(gè)方面，包括：首臺國產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)惠政策，首家用戶的選擇，配套措施的跟進(jìn)，相關(guān)稅收減免和優(yōu)惠，零部件的進(jìn)口稅減免，科技研發(fā)人員的激勵(lì)政策；財(cái)政支持方面，要做好中央、地方、承擔(dān)單位三方面資金的配套，還要把設(shè)備考核、工藝試驗(yàn)、應(yīng)用鼓勵(lì)的資金安排好，寧可少安排一兩臺設(shè)備，也要把資金打足。 國家在支持國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目時(shí)，要有所為有所不為，要集中資源挑選國內(nèi)有基礎(chǔ)的項(xiàng)目進(jìn)行重點(diǎn)支持，支持力度可以與國產(chǎn)設(shè)備應(yīng)用前景掛鉤。 賀榮明在接受記者采訪時(shí)表示，集成電路設(shè)備從樣機(jī)的誕生到最終上大生產(chǎn)線，其中要經(jīng)歷很多的過程。這個(gè)過程需要一些中試設(shè)備和中試環(huán)境，用戶生產(chǎn)的是最終產(chǎn)品，不允許設(shè)備廠商大規(guī)模地進(jìn)行設(shè)備實(shí)驗(yàn)，因此，對于設(shè)備廠商來講，這中間需要一個(gè)臺階，即建立工藝實(shí)驗(yàn)線或工藝引導(dǎo)線，為設(shè)備廠商的產(chǎn)品最終進(jìn)入大生產(chǎn)線提供“實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)”。架起這座橫跨于設(shè)備廠商和用戶之間的橋梁，正是行業(yè)及政府領(lǐng)導(dǎo)部門要為設(shè)備廠商所要?jiǎng)?chuàng)造的環(huán)境。