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IGCT器件的光刻技術

發布時間：2009/9/6 13:39:00

文件類型：rar

資料大小：206.54KB

提供者：中國傳動網

【IGCT器件的光刻技術】

資料介紹
主要介紹了集成門極換流晶閘管（IGCT）的光刻技術。IGCT器件的光刻次數多，精度要求高，如何保證光刻質量是關鍵。

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