為減小測(cè)量誤差，設(shè)計(jì)了基于垂直位移掃描的接觸式表面形貌儀。該測(cè)量?jī)x以保持杠桿處于平衡位置為測(cè)量前提，X_Y向，Z向工作臺(tái)分別采用衍射光柵為標(biāo)準(zhǔn)器；X—Y向工作臺(tái)采用直線(xiàn)電機(jī)和壓電陶瓷分別進(jìn)行粗、細(xì)兩級(jí)定位，Z向電機(jī)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)微定位。總體論述了該儀器的整體結(jié)構(gòu)、測(cè)量原理、工作臺(tái)的定位控制以及衍射光柵干涉信號(hào)的處理等內(nèi)容。測(cè)量結(jié)果表明該系統(tǒng)有效地提高了測(cè)量精度。[著者文摘]