解決精密直線電機位移裝置中負載擾動、切削力波動以及參數的變化對系統(tǒng)性能影響較大的問題，利用在頻率域選擇加權函數，并將其轉化到狀態(tài)空間進行優(yōu)化的方法，將H∞魯棒控制算法應用到精密直線電機位移裝置中。仿真實驗證明，該控制器具有良好的跟蹤性能，同時具有很好的抗干擾能力和較強的魯棒性。與學習迭比例積分微分控制（PID）所達到的穩(wěn)態(tài)跟蹤誤差±4μm和重復控制所達到的穗態(tài)跟蹤誤差±0．4μm相比，該H∞魯棒控制算法使系統(tǒng)的跟蹤精度有了明顯的提高。[著者文摘]