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晶體硅太陽電池鈍化工藝的研究

發(fā)布時(shí)間:2009/4/26 17:49:00

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【晶體硅太陽電池鈍化工藝的研究】

資料介紹
采用熱氧化法在多晶硅及單硅大面積太陽電池上生長二氧化硅鈍化膜,結(jié)合絲網(wǎng)印刷制電極及二氧化鈦減反射膜工藝,使太陽電池的擴(kuò)散長度及效率得到改進(jìn)。也進(jìn)行了在多晶硅太陽電池上采用等離子沉積法制作氮化硅減反射膜的研究。

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