介紹了在全國產(chǎn)設(shè)備構(gòu)成的中試線上開展的高效單晶硅太陽電池研究工作，并制備出了最高轉(zhuǎn)換效率達(dá)15．7％的單體電池（面積103×103mm︿2）。實(shí)驗(yàn)采用PECVD方法制備SiNx減反、鈍化薄膜，并采用正背面電極一次金屬化燒結(jié)技術(shù)，同時(shí)完成氮化硅薄膜燒穿工藝。