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外延晶體硅薄膜電池的EBIC與SR-LBIC特性分析

發布時間：2009/4/26 17:04:00

文件類型：rar

資料大小：226.74KB

提供者：中國傳動網

【外延晶體硅薄膜電池的EBIC與SR-LBIC特性分析】

資料介紹
電子束誘導電流（EBIC:Electron Beam Induced Current）是研究晶體缺陷（如晶界、位錯、沉淀等）復合特性的一種有力工具.該文對以顆粒硅帶為襯底的晶體硅薄膜電池表面及電池截面的晶體缺陷、特別是對晶界的復合行為進行了研究.

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