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納米晶體硅量子點場發射冷陰極的研究

發布時間:2009/4/26 17:02:00

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提供者:中國傳動網

【納米晶體硅量子點場發射冷陰極的研究】

資料介紹
在n-Si(4~5Ω·cm)襯底上淀積了400nm厚的納米晶體硅(nc-Si)量子點薄膜,將其制備成場致發射的冷陰極.介紹了nc-Si量子點冷陰極的制備,場致發射特性的測試,解釋了nc-Si量子點冷陰極的工作模型及電子彈道發射的原理.透射電子顯微鏡(TEM)對樣片的結構分析證實樣片中的nc-Si量子點具有很好的單晶結構。

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