針對直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高性能XY工作臺的結(jié)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)，提出基于小波多分辨率分析與信號時(shí)域分析相融合的高性能XY工作臺故障診斷方法；該方法通過分析研究高性能工作平臺多工況多位置的振動(dòng)信號，對信號進(jìn)行小波多分辨率分解后不同尺度上的分解系數(shù)模值取平方，進(jìn)行消噪處理，解決了工作臺振動(dòng)信號中隨機(jī)噪聲信號和故障特征信號混疊不易提取的難題，由獲取的小波系數(shù)模值平方序列結(jié)合時(shí)域分析方法構(gòu)造特征量，提取出故障信號特征。試驗(yàn)表明，該方法可有效地實(shí)現(xiàn)高性能XY工作臺的故障診斷。[著者文摘]