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精密雙層氣浮直線電機動力學響應分析

發布時間：2009/4/7 20:46:00

文件類型：rar

資料大小：299.42KB

提供者：中國傳動網

【精密雙層氣浮直線電機動力學響應分析】

資料介紹
高分辨率步進掃描投影光刻機中的精密雙層氣浮直線電機采用氣浮軸承支撐，實現亞微米級定位的高速高精運動。

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