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精密雙層氣浮直線電機(jī)動(dòng)力學(xué)響應(yīng)分析

發(fā)布時(shí)間:2009/4/7 20:46:00

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【精密雙層氣浮直線電機(jī)動(dòng)力學(xué)響應(yīng)分析】

資料介紹
高分辨率步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)中的精密雙層氣浮直線電機(jī)采用氣浮軸承支撐,實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)定位的高速高精運(yùn)動(dòng)。

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