基于精密直線電機(jī)氣浮軸承支撐的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),針對(duì)氣浮軸承動(dòng)力學(xué)參數(shù)辨識(shí)問題,利用有限元方法建立了該結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的有限元模型,運(yùn)用理論模態(tài)分析與實(shí)驗(yàn)?zāi)B(tài)分析相結(jié)合的方法,對(duì)該結(jié)構(gòu)的氣浮軸承的參數(shù)進(jìn)行了辨識(shí)驗(yàn)證,得到了精密直線電機(jī)氣浮軸承的動(dòng)力學(xué)參數(shù).仿真結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果相符,證明該方法有效,為該系統(tǒng)進(jìn)行動(dòng)力學(xué)優(yōu)化分析提供了基礎(chǔ).