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精密氣浮直線電機結構動力學建模與分析

發布時間：2009/4/7 20:32:00

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提供者：中國傳動網

【精密氣浮直線電機結構動力學建模與分析】

資料介紹
高分辨率步進掃描投影光刻機中掩模臺長行程直線電機采用氣浮軸承支撐實現亞微米級定位的高速高精運動。

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