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離子注入機大行程垂直掃描系統的研制

發布時間：2009/4/7 20:15:00

文件類型：rar

資料大小：181.89KB

提供者：中國傳動網

【離子注入機大行程垂直掃描系統的研制】

資料介紹
采用垂直掃描系統是離子注入機最常用的掃描方式之一,著重闡述了一種大行程垂直掃描系統的系統構成、設計思路和實現方法。經過實際使用證明,該系統提高了離子注入機機械掃描的可靠性和穩定性。

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