在超精密切削、磨削、特種加工中,大行程驅(qū)動(dòng)與高精度進(jìn)給是難以解決的矛盾,也是多坐標(biāo)超精密加工的難點(diǎn).本文以三維結(jié)構(gòu)的超精密加工為對(duì)象,進(jìn)行了適合超精密三維結(jié)構(gòu)特種加工運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了較大行程的三維精密運(yùn)動(dòng).該精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)也是研制超精密加工機(jī)床的基礎(chǔ).[著者文摘]