分布重復(fù)投影光刻機(jī)（DSW）的精度和工作效率直接影響到大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝的特殊要求。為了提高DSW的精度和效率，研究和運(yùn)用了先進(jìn)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，使光刻工作臺(tái)定位精度小于±0.5μm；同時(shí)應(yīng)用視頻網(wǎng)絡(luò)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)程交互式工作方式。根據(jù)要求，完成了DSW的各系統(tǒng)模塊的設(shè)計(jì)，并且開發(fā)了基于PC的應(yīng)用軟件。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該改進(jìn)型DSW體現(xiàn)了較高的應(yīng)用價(jià)值。[著者文摘]