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面向IC制造的凈化機器人

發(fā)布時間：2009/4/6 18:41:00

文件類型：rar

資料大小：276.58KB

提供者：中國傳動網(wǎng)

【面向IC制造的凈化機器人】

資料介紹
針對集成電路制造中環(huán)境潔凈度與硅片傳輸任務的需求,提出了一種由徑向直線伸縮機構以及旋轉(zhuǎn)、升降運動模塊組成的新型三自由度R-θ型凈化機器人

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