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基于PLC的大范圍運動與高精度對準控制

發布時間：2009/4/6 18:27:00

文件類型：rar

資料大小：283.57KB

提供者：中國傳動網

【基于PLC的大范圍運動與高精度對準控制】

資料介紹
針對掩模版傳輸過程中的大范圍運動與高精度對準這兩個關鍵問題，本文采用基于PLC的全閉環位置控制方法，設計了用于掩模版傳輸和對準的機械手控制系統。

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