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直線電動機在精密光刻系統中的應用

發布時間：2009/4/6 13:08:00

文件類型：rar

資料大小：130.77KB

提供者：中國傳動網

【直線電動機在精密光刻系統中的應用】

資料介紹
精密光刻系統主要應用于煙、酒等產品商標的防偽。介紹了直線電動機的結構與原理，以及精密光刻系統的組成與原理。系統采用雙閉環控制方式，并用高精度光柵作為反饋環節的位置測量元件，不僅提高了光刻速度，也改善了光刻精度，應用效果良好。[著者文摘]

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