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光刻機運動控制與網絡監控技術研究

發布時間：2009/4/4 9:03:00

文件類型：rar

資料大小：228.50KB

提供者：中國傳動網

【光刻機運動控制與網絡監控技術研究】

資料介紹
光刻機是IC器件制造的關鍵設備之一，其工件臺的高速度和高定位精度是獲得高質量光刻和高效率的重要條件．本文通過對光刻機工件臺運動速度模式、運動軌跡和定位誤差補償以及現代運動控制技術和網絡監控技術的研究

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