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精密硅片臺的運動控制

發布時間：2009/4/4 8:22:00

文件類型：rar

資料大小：315.51KB

提供者：中國傳動網

【精密硅片臺的運動控制】

資料介紹
描述一種應用于集成電路制造的超精密硅片臺系統及其運動控制。介紹了超精密硅片臺系統配置及其主從控制原理，結合粗動臺和微動臺兩者的優點，可以實現運動控制的大行程和高精度。

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