描述了一種應用于集成電路（IC）制造的超精密工件臺的運動控制．介紹了超精密工件臺主從控制原理，它結合了粗動臺和精動臺兩者的優點以實現運動控制的大行程和高精度．給出了超精密工件臺機電系統基于閉環控制的動力學辨識方法．利用環路整形技術，研究了串聯PID控制器和魯棒控制器的自動綜合方法．仿真結果表明該超精密工件臺的定位精度可達到10nm．[著者文摘]