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不同襯底條件對MEMS壓阻傳感器性能的影響

發布時間：2009/3/22 8:26:00

文件類型：PDF

資料大小：181.98KB

提供者：中國傳動網

【不同襯底條件對MEMS壓阻傳感器性能的影響】

資料介紹

為了研究不同襯底條件對MEMS壓阻傳感器性能的影響，采用3種摻雜條件的襯底進行實驗測試．在各步驟熱過程后，對3種襯底條件下壓阻區、引出區和保護框的方塊電阻進行了測量和分析．通過對各部分方塊電阻的測量可以看出，對于壓阻區（P︿-區），A#和B#的方塊電阻在開始注入擴散時相差很小，而由于注入雜質在高溫下進一步擴散.

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