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工藝特性對二維微加速度傳感器性能的影響

發布時間：2009/3/20 13:03:00

文件類型：PDF

資料大?。?33.03KB

提供者：中國傳動網

【工藝特性對二維微加速度傳感器性能的影響】

資料介紹
工藝特性在很大程度上決定了MEMS器件最終的功能特性。本文針對自主設計的二維微加速度傳感器,在概念設計階段定量分析了工藝特性對傳感器性能的影響,主要包括質量偏心、梁加工誤差、結構對稱性、非平行效應等。

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