1 真空泵與半導體行業

1.1 真空泵描述

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空環境的裝置，根據真空等級所用的真空泵有所不同，不同真空泵所對應的驅動性能也有所不同。

1.2半導體真空泵市場及應用工藝

根據ISVT國際真空技術統計工作組的調查統計，2019年全球真空設備的市場規模約350億元，其中半導體用真空設備約135億元，占比約38%，是最大的應用領域，此外光伏領域的真空泵需求正快速增長。

半導體真空泵一般被用于半導體制造的多個工藝環節（圖2），占整個工藝的50%以上，其中干式真空泵可適用于半導體元件制造的整個工藝。縱觀全球市場，半導體真空泵行業高度集中，市場份額被一些主要的大公司占據。

1.3半導體真空泵結構干式真空泵結構如圖3所示，由兩臺變頻器帶兩臺同步或異步電機構成，功率一般為2.2~22KW，該結構中BP(BoosterPump/增壓泵)和DP(DryPump/干泵)是串聯的，在真空狀態下打開泄放閥時，通過調節DP的速度來調節BP的負載量。

2 S100真空泵專用化方案

LS電氣自2014年開始進行真空泵專用化變頻器產品開發，所涉及的真空泵設備已經涵蓋到韓國，中國等各個國家各大半導體及面板制造廠家，用戶滿意度較高。

2.1LS電氣S100真空泵專用方案一

? 專用化背景

（1）實現半導體真空泵專用功能，多段防止失速、低速報警、限制時重啟、瞬間斷電重啟；

（2）通過具有競爭力的S100專用化解決方案搶占市場；

（3）目前真空泵設備用戶對高負載、小體積真空泵需求強烈，需要升級LS產電的S100變頻器產品，以應對市場新需求。

? 專用化內容

（1）專用產品：    S100Finless 類型(2.2~4kW)，產品量產；

（2）專用化功能：多段防止失速、低速報警、堵轉重啟（異物去除）、低速過勵磁（同步電機）、KEB功能:扭矩模式運行、停止狀態DB運行、輸出電壓下降改善。

? 性能提升

（1）改進無傳感矢量算法；（2）改善電流檢測精度；

（3）改善KEB運行性能；

（4）提升Power計算精度。

? 應用案例

在韓國某客戶真空泵負載試驗時，速度恢復性能改善。

2.2LS電氣S100真空泵專用方案二

? 專用化背景

某真空泵公司由于尺寸及價格等問題需要4/7.5kW（200/400V）Finless類型的變頻器產品，LS電氣在原有的S100 4kW的基礎上擴充產品線到7.5kW。

? 專用化內容

（1）專用產品：S100  Finless產品（容量：7.5kW-200/400V，1個框架，2種）；

（2）專用化功能：FinlessHeatsink（水冷式）和專用Body Cover開發。

在確保產品品質的前提下縮短開發時間，維持S100IP66系列的PCBAss'y安裝結構不變，開發了1種HeatSink散熱器和1種Body Cover。

LS電氣S100系列變頻器在國內外的真空泵設備上得到了廣泛應用，可使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下穩定、高效、節能、可靠運行，并可向全球半導體真空泵客戶提供定制化的方案與服務。

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