概述 無塵室是半導體生產的關鍵設施。不對生產過程進行嚴格的控制將產生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環境的監控包括管理空氣過濾系統、控制 HVAC 系統以及監測室內的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數。為半導體制造商工作的現場工程師希望能夠連續簡單地使用 PC-based 無塵室環境監控系統。這樣的系統應該能夠收集數據進行分析，確保制造過程在可接受的參數下進行，從而防止問題的發生。系統應該確保加工過程符合半導體工業標準 - 一個非常重要的因素。ADAM-4000 系列遠程數據采集和控制硬件以及研華軟件構成了一個全面的無塵室監測系統的核心。它們提供了一個經濟的、易于實施的網絡解決方案。地建造該系統。 系統要求 半導體制造商需要靈活、易于使用的系統。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統增加到現有的加工過程和設備中，而不干擾或修改已經建設好的控制系統。即使是主機斷開或關閉，系統應能夠繼續運行。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監管系統。 系統體系結構 研華開發了一個基于 RS-485（2 線）多點網絡的解決方案。為保護無塵室，系統停止運行時必須有效可靠地監視過濾器風扇。ADAM-4050 數字量輸入輸出模塊可以很好地執行這項重要任務。ADAM-4017 具有 8 路模擬量輸入處理能力，能夠精確地監視空氣溫度、壓力和濕度。整個 RS-485 網絡連接到一個 ADAM-4500 PC-based 通信控制器，它可以以獨立模式運行系統，即使在主機斷開或關閉的情況下。基于 Windows 的 VisiDAQ 3.1 MMI 軟件能夠以其功能強大的、用戶友好的人機界面使自動化系統更加完善。 結論 集成系統能夠提供連續不斷的監視。能夠對數據進行短期獨立的監控。VisiDAQ 3.1 支持簡易監測的自動化報表生成。IC 制造商利用其熱插拔功能可以容易地安裝系統網絡。