摘 要：為了實現液壓系統的動態測量，給液壓系統的設計以及故障診斷提供理論依據，在已經設計的新型 MEMS 流量傳感器的基礎上，對其結構尺寸進行了進一步的優化，并對MEMS芯體和優化后的 MEMS傳感器進行靜態標定。對 MEMS傳感器進行動態特性試驗，發現新型 MEMS傳感器具有低擾動、高頻率響應等特點，適合液壓系統的動態測量。 關鍵詞：MEMS傳感器；尺寸優化；靜態標定；動態試驗 前言 現代液壓技術研究熱點由靜態特性向動態特性轉變。以往的經驗證明，靜態特性很完善的系統，運行后時常會發生振動、噪音等問題，這主要是由于系統動態特性研究不到造成的。出于種種目的，國內外對管道動特性進行了許多研究。非定常流動的油液，由于其外部表現和內在機理的復雜性，直到現在仍有不少問題未能徹底解決。目前，許多液壓系統的設計和分析只能按照定常流動進行，但實際上，系統中出現非定常流動的幾率并不亞于定常流動。所以研究并提高傳感器的動態性能對實現液壓系統動態測量具有重要意義。 MEMS傳感器的優化與動態試驗全文下載