時間:2024-09-20 16:54:58來æºï¼šæµ™æ±Ÿç¦¾å·ç§‘技股份有é™å…¬å¸
  01ã€èƒŒæ™¯ä»‹ç´¹
  HJTé›»æ± å³ç•°è³ªçµé›»æ± ï¼Œæ˜¯ä¸€ç¨®é‡‡ç”¨ç‰¹æ®Šçµæ§‹çš„å¤ªé™½èƒ½é›»æ± ï¼Œå…¶ç‰¹é»žæ˜¯åœ¨æ™¶é«”ç¡…ä¸Šæ²‰ç©éžæ™¶ç¡…薄膜,形æˆP-N異質çµã€‚
  HJTé›»æ± çµæ§‹ï¼š
  HJTå…‰ä¼é›»æ± ç‰‡ç”Ÿç”¢å·¥è—æµç¨‹ä¸»è¦åŒ…括:ã€
  分é¸ã€é 清洗ã€åˆ¶çµ¨æ¸…æ´—ã€PECVDé膜ã€PVDé膜ã€å¸é›œã€çµ²ç¶²å°åˆ·ã€å›ºåŒ–å’Œæ¸¬è©¦åˆ†é¸ ç‰ã€‚
  å¸é›œå·¥è—
  通éŽç®¡å¼æ“´Pæºæˆ–éˆå¼æ¶‚覆Pæºçš„æ–¹å¼ï¼Œä½¿ç¡…片表é¢å…·æœ‰ä¸€å±¤Pæºï¼Œéš¨åŽå°ç¡…片進行高溫處ç†ï¼Œè™•ç†æº«åº¦åœ¨700~800°C,通éŽé«˜æº«æ“´æ•£åŽï¼Œåœ¨ç¡…片表é¢å½¢æˆä¸€å±¤PSGå’ŒP釿‘»é›œå±¤ï¼Œåœ¨é«˜æº«å’Œé›œè³ªæ¿ƒåº¦æ¢¯åº¦å½±éŸ¿ä¸‹ï¼Œç¡…片內的金屬雜質å‘è¡¨é¢æ“´å±•,通éŽåŽçºŒçš„æ¸…æ´—å·¥åºï¼Œå¯æŠŠé€™å±¤é›œè³ªåŽ»æŽ‰å¾žè€Œé”到æå‡ç¡…片å“質的目的。
  å¸é›œå·¥è—優點
ã€€ã€€åŽŸææ–™é™æœ¬
  å¯é™ä½ŽHJTé›»æ± ç¡…åŽŸæ–™é‡‡è³¼è¦æ±‚,實ç¾ç¡…æˆæœ¬é™ä½Žã€‚
  高效率
ã€€ã€€å¯æå‡HJTé›»æ± æ•ˆçŽ‡ï¼Œå¸é›œå¯æ¸›å°‘硅片ä¸å°‘數載æµå復åˆä¸å¿ƒï¼Œæé«˜é›»æ± çš„é–‹è·¯é›»å£“ï¼Œé›»æ± å…‰é›»è½‰æ›æ•ˆçއæå‡0.15%以上。
  經濟性
ã€€ã€€å¯æå‡HJTé›»æ± çš„ç¶“æ¿Ÿæ€§ï¼Œé€šéŽææ•ˆå¯å¯¦ç¾å–®ç“¦ç¡…æˆæœ¬ä¸‹é™ï¼Œé›»æ± 組件環節除è¨å‚™æŠ•資外éžç¡…æˆæœ¬å‡ä¸‹é™ï¼Œé 計導入å¸é›œå·¥è—å¯é™ä½ŽHJTçµ„ä»¶æˆæœ¬ç´„0.6分錢/W。
  02ã€è¨å‚™ä»‹ç´¹
  HJTå¸é›œè¨å‚™ï¼š
  HJTå¸é›œè¨å‚™å°æœ‰é›œè³ªçš„硅片進行å¸é›œå·¥è—åŽï¼Œé™ä½Žå…¶ç¡…片表é¢çš„雜質å«é‡ï¼Œç„¶åŽå°‡è™•ç†å¥½çš„硅片æµå…¥åˆ°ä¸‹ä¸€é“å·¥åºã€‚
  HJTå¸é›œè¨å‚™åŒ…å«13個æ¥é©Ÿï¼š
  進花籃軌é“
  由AGV將滿花籃(è£è¼‰éœ€è¦é€²è¡Œå¸é›œå·¥è—的硅片)é‹è¼¸è‡³è»Œé“å°æŽ¥è™•ï¼ŒAGV與å¸é›œè¨å‚™å°æŽ¥åŽï¼Œæ»¿èŠ±ç±ƒæµå…¥èŠ±ç±ƒè»Œé“上層。
  機械手抓å–â…
ã€€ã€€æ©Ÿæ¢°æ‰‹å¾žä¸Šå±¤èŠ±ç±ƒè»Œé“æŠ“å–æ»¿èŠ±ç±ƒæ”¾ç½®åˆ°ç§»æ ½å–®å…ƒä¸Šï¼ŒåŒæ™‚進行花籃RFID讀å–,上傳信æ¯è‡³MES系統。
ã€€ã€€ç§»æ ½â…
ã€€ã€€ç§»æ ½å–®å…ƒé‹è¼¸èŠ±ç±ƒè‡³å¸ç›¤å¸å–ä½ç½®é»žï¼Œç”±é ‚é½’é ‚å‡å’Œé ‚é½’æ©«ç§»çš„å‹•ä½œå°‡ç¡…ç‰‡é ‚å‡ºä¾›å¸ç›¤å¸å–。
  å¸ç›¤å¸å–â…
  兩個å¸ç›¤å°‡èŠ±ç±ƒé‡Œé¢æœªå·¥è—的硅片å¸å–åŽæ”¾ç½®åœ¨å·¦å³å´çš„石英舟里é¢ï¼ŒçŸ³è‹±èˆŸè£è¼‰ç¡…片åŽé€²è¡Œä½ç½®ç§»å‹•。
  抓å–â…
  XZ抓手將石英舟從舟托盤上抓å–è‡³å°æŽ¥ä¸»æ©Ÿè»Œé“上。
  進主機
ã€€ã€€å°æŽ¥ä¸»æ©Ÿè»Œé“傳輸石英舟至主機臺。
  主機å¸é›œ
  主機å°çŸ³è‹±èˆŸå…§çš„硅片進行å¸é›œè™•ç†ã€‚
  出主機
ã€€ã€€å°æŽ¥ä¸»æ©Ÿè»Œé“æŽ¥æ”¶ä¸»æ©Ÿç™¼å‡ºçš„çŸ³è‹±èˆŸï¼ŒåŒæ™‚讀å–舟號,暫å˜è‡ºç”¨äºŽå˜æ”¾éŽå¤šçš„石英舟。
  抓å–â…¡
  XZæŠ“æ‰‹å°‡å°æŽ¥ä¸»æ©Ÿè»Œé“æˆ–æš«å˜è‡ºä¸Šçš„石英舟抓到到舟托盤上。
  å¸ç›¤å¸å–â…¡
  å¸ç›¤å°‡å·²å·¥è—的硅片從石英舟內å¸å‡ºæ”¾åˆ°èŠ±ç±ƒå…§ï¼Œé ‚é½’é ‚å‡æŽ¥æ”¶å¸ç›¤æ”¾ä¸‹çš„硅片。
ã€€ã€€ç§»æ ½â…¡
ã€€ã€€èŠ±ç±ƒè£æ»¿ç¡…片åŽï¼Œç§»æ ½å–®å…ƒå°‡æ»¿èŠ±ç±ƒé‹è¼¸åˆ°æ©Ÿæ¢°æ‰‹æŠ“å–ä½ç½®é»žã€‚
  機械手抓å–â…¡
ã€€ã€€æ©Ÿæ¢°æ‰‹æŠ“å–æ»¿èŠ±ç±ƒè‡³ä¸‹å±¤èŠ±ç±ƒè»Œé“。
  出花籃軌é“
  花籃軌é“將已工è—的滿花籃é‹è¼¸è‡³è»Œé“å°æŽ¥è™•ï¼Œç”±AVG接收花籃,準備進行下一é“å·¥åºã€‚
  03ã€å·¥è—難點
  難點A
  整體方案需è¦ç”¨åˆ°å¤šç¨®è¨å‚™ï¼Œå„è¨å‚™æ”¯æŒçš„通訊å”è°ä¸åŒï¼Œé€£ç·šå¾©é›œã€‚
  解決方案:
  采用禾å·HCQ5P系列控制器,支æŒEtherCATã€Ethernet/IPã€OPC UAã€Modbus TCPã€Modbus RTUç‰å¤šç¨®å”è°ï¼ŒæŽ¥å£è±å¯Œï¼Œå¯èˆ‡ç¾å ´è¨å‚™éˆæ´»æé…。通éŽEtherCAT總線å”è°èˆ‡ä¼ºæœè¨å‚™é€£æŽ¥ï¼Œæ¸›å°‘布線,通訊更穩定更高效。
  難點B
ã€€ã€€æ ¹æ“šå¯¦éš›ç”Ÿç”¢éœ€æ±‚ï¼ŒHJTå¸é›œæ–¹æ¡ˆéœ€è¦æ ¹æ“šä¸»æ©Ÿè‡ºç™¼å‡ºçš„信號切æ›ç‚ºå–®è£æ¨¡å¼ã€å–®å¸æ¨¡å¼æˆ–è£å¸æ¨¡å¼ã€‚
  解決方案:
  禾å·HJTå¸é›œæ–¹æ¡ˆè¨ç½®äº†ä¸‰ç¨®æ¨¡å¼ï¼š
ã€€ã€€å–®è£æ¨¡å¼ï¼šä¸»æ©Ÿè‡ºç™¼é€ç©ºçŸ³è‹±èˆŸï¼Œç§»æ ½å–®å…ƒå’ŒXZ抓手動作,將未工è—的硅片è£è¼‰åˆ°çŸ³è‹±èˆŸä¸Š;
ã€€ã€€å–®å¸æ¨¡å¼ï¼šä¸»æ©Ÿè‡ºç™¼é€æ»¿çŸ³è‹±èˆŸï¼Œç§»æ ½å–®å…ƒå’ŒXZ抓手動作,將å¸é›œåŽçš„硅片放到花籃內;
  è£å¸æ¨¡å¼ï¼šè£è¼‰æœªå·¥è—硅片和å¸è¼‰å·²å·¥è—硅片動作交錯進行。
ã€€ã€€ä¸‰ç¨®æ¨¡å¼æ ¹æ“šç”Ÿç”¢ä¿¡è™Ÿè‡ªå‹•切æ›ï¼Œå®¢æˆ¶ä¹Ÿå¯åœ¨HMI上進行手動切æ›ã€‚模å¼åˆ‡æ›æˆåŠŸåŽï¼Œéƒ¨åˆ†è«‹æ±‚信號自動消除,è¨å‚™åœ¨ä¸åœæ©Ÿçš„æƒ…æ³ä¸‹æº–確地切æ›åˆ°æ–°æ¨¡å¼ã€‚
  04ã€ç¦¾å·æ–¹æ¡ˆ
  拓撲圖
  性能指標:
  1ã€ç”Ÿç¡…片å¸é›œæ•ˆçŽ‡ï¼š10000pcs/h
  方案優勢:
  å¯é 穩定
  采用禾å·å…¨å¥—控制方案,HCQ5P控制器+Q系列模塊+X5FB系列伺æœ+X2系列伺æœé›»æ©Ÿã€‚通訊穩定高效,精度高,誤差å°HCQ5Pè¨å‚™æŽ¥å£è±å¯Œï¼Œæ”¯æŒå¤šç¨®å”è°ï¼Œå¯é€šéŽå„接å£é€£æŽ¥ç¬¬ä¸‰æ–¹è¨å‚™ã€‚
  高效率
  禾å·HJTå¸é›œæ–¹æ¡ˆåˆ†ç‚ºABå…©å´ï¼Œç¯€çœäº†çŸ³è‹±èˆŸèª¿åº¦æ™‚,產生的ç‰å¾…時間,大大æé«˜å–®è£ã€å–®å¸ä»¥åŠè£å¸æ¨¡å¼çš„æ•ˆçŽ‡ã€‚
ã€€ã€€ç¯€çœæˆæœ¬
  HCQ5P與AGV進行通訊連接,使花籃的æµå…¥æµå‡ºå¯¦ç¾è‡ªå‹•化,節約了人力。
ä¸Šä¸€ç¯‡ï¼šå‚³æ„Ÿå™¨ç¶²çµ¡ç‚ºé†«ç™‚é›»åæ’ä¸Šé¨°...
ä¸‹ä¸€ç¯‡ï¼šæœ‰å“ªäº›æ–°åž‹æŠ€è¡“ç‚ºå‚³çµ±åˆ¶é€ æ¥...
ä¸åœ‹å‚³å‹•網版權與å…è²¬è²æ˜Žï¼šå‡¡æœ¬ç¶²æ³¨æ˜Ž[來æºï¼šä¸åœ‹å‚³å‹•ç¶²]的所有文å—ã€åœ–片ã€éŸ³è¦–å’Œè¦–é »æ–‡ä»¶ï¼Œç‰ˆæ¬Šå‡ç‚ºä¸åœ‹å‚³å‹•ç¶²(www.hysjfh.com)ç¨å®¶æ‰€æœ‰ã€‚如需轉載請與0755-82949061è¯ç³»ã€‚任何媒體ã€ç¶²ç«™æˆ–å€‹äººè½‰è¼‰ä½¿ç”¨æ™‚é ˆæ³¨æ˜Žä¾†æºâ€œä¸åœ‹å‚³å‹•ç¶²â€ï¼Œé•å者本網將追究其法律責任。
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