微型機器人是典型的微機電系統。世界各國已經在微型機器人的研究方面取得了不少成果。微型機器人的發展依賴于微加工工藝、微傳感器、微驅動器和微結構四個方面。這四個方面的基礎研究有三個階段：器件開發階段、部件開發階段、裝置和系統開發階段。

　　一、微型機器人的行走機構

　　微型機器人要有自動行走(或爬行、的能力)，就必須有行走機構。微機器人的行走機構主要有：

　　1、輪式行走機構，只適宜在較平坦的地面上行駛。

　　2、履帶式行走機構，可以在不平坦的地面上行駛。

　　3、用腳行走，用得最多的是四腳和六腳的行走機構，如要求在不平坦的地面上行走，則機構較復雜。

　　4、靠慣性或自動伸縮的步進蠕動式行走機構。

　　5、在液體中用螺旋槳或其他方式推動前進的驅動機構。

　　二、微型機器人分類

　　目前開發的微型機器人有以下三大類：

　　1、固定型微型機器人：其外觀像石頭、樹木、花草，裝有各種微型傳感器，可以探測出人體的紅外輻射、行走時的地面振動、金屬物體移動造成的磁場變化等，并將信號傳送到中央指揮部，指揮部可控制防御區內的武器自動發起攻擊。

　　2、機動式的微型機器人：它們裝備有太陽能電池板和計算機，可以按照預定程序機動進入敵人陣地與敵人同歸于盡。

　　3、生物型微型機器人：研究將微型傳感器安裝到動物或昆蟲身上，構成微型生物機器人，使其進人人類無法到達的地方，執行戰斗或偵察任務。

　　鑒于微型機器人巨大的技術潛力和應用前景，美國國家航空航天局NASA、噴氣推進實驗室NASA/JPL、和DARPA合作，從1996年起制定出一系列計劃，進行空間和軍用微型機器人的研究開發。例如，火星漫游微型機器人Sojourner于1997年7月在火星著陸，長60 em，高和寬分別為30 C1TI，自重約為11 kg，裝有攝像機和多種傳感器等。