行業背景

　　伴隨著產業的不斷升級，在航空航天、生物工程制藥、醫療、精密機械制造等高科技領域，對于高端設備的要求也越來越高。比如在測試、檢測、加工等應用中，對于設備的速度穩定性、幾何精度等有著相當高的要求，但傳統的機械導軌直線電機平臺大多數只能滿足微米級精度。而氣浮導軌直線電機平臺能實現納米級精度，是更好的解決方案。

行業需求

　　高精度的測試、檢測和加工等應用往往要求一個運動平臺具有如下特點：

　　·更高要求的軌跡控制和低速波動

　　·亞微米級、甚至納米級定位精度和幾何精度

　　·盡可能少的外力影響，如摩擦力、線纜阻力等

　　·集成高柔屏蔽線纜

　　·直驅

　　·使用壽命長

　　·可靠性更高

解決方案

　　雅科貝思針對此類需求研發了直線電機氣浮平臺——AAL270系列。該系列集成了氣浮導軌、直線電機、高精度光學編碼器、高柔屏蔽線纜等零部件，再額外搭配上高性能驅控模塊，完全能夠達到上述應用的要求。

AAL270系列

　　·自產高剛性氣浮導軌(專利技術)

　　·300mm行程 雙向重復定位精度<0.15(±0.075)μm

　　·300mm行程平面度<±0.75μm

　　·適用于晶圓檢測、單點鉆石車削、激光微加工等

　　01、氣浮導軌

　　氣浮導軌顧名思義是利用壓縮空氣在動子和定子間形成的氣膜支撐負載質量。不同于傳統機械導軌，氣浮導軌是完全非接觸、零摩擦、零損耗、無需潤滑的。特別適用于無塵車間等對潔凈度有嚴格要求的場合。只要供給氣浮導軌以潔凈且干燥的的壓縮空氣，原則上它的使用壽命是無窮盡的。

　　02、氣浮墊

　　氣浮模組大多會使用到氣浮墊(一種包含氣浮面和氣流約束機構的零件)作為氣浮導軌的一部分，它主要分三類：小孔結構、小孔和導流槽結構、多孔介質結構。

小孔結構(左)小孔和導流槽(中)多孔介質(右)

　　雅科貝思AAL270系列采用小孔氣浮墊，每片氣浮墊可提供近100N/μm的剛度。高剛度就意味著大負載、高控制帶寬、出色的響應和跟隨性能。并且，氣浮墊有著天生的均化特性。配合精密加工的氣浮底座，AAL270系列還可以提供出色的幾何精度，是高性能和高性價比的完美組合。

性能指標實測結果

雙向重復定位精度 <0.084 (± 0.042) μm

偏航精度 = 1.14 arcsec

俯仰精度 = 1.75 arcsec

平面度 = 0.042 um

直線度 = 0.057 um

　　03、AUM系列無鐵芯直線電機

　　AAL270系列搭配著雅科貝思的核心科技：AUM系列(自主專利)。該系列為無鐵芯直線電機，擁有無齒槽力、零磁吸力和極低的動子質量等優勢。可以兼顧高速度、高加速度和出色的速度波動率。配合高性能光學編碼器和運動控制模塊，AAL270可以實現納米級別的靜態抖動。

AUM系列

　　04、高柔線纜

　　在設計中，雅科貝思特別優化了線纜的彎曲半徑和集成方式。即便是在最壞的情況下，模塊化的線纜設計使得快速替換成為可能，進而減小了設備可能的停機時間。在高柔性無屏蔽線纜的基礎上，針對追求穩定性能應用的客戶，提供了帶屏蔽層的線纜選項。

AAL270系列亮點

小孔氣浮墊

無摩擦

免維護

高剛性

高負載，最大負載40kg

高加速，最大加速度2G

低速度波動

專業解決方案

　　AAL270系列的優勢不僅是因其擁有更高的精度，能夠滿足各行業中一些高精密設備的需求。同時，氣浮的結構設計沒有物理接觸，規避了一般機械導軌運動過程中因摩擦而產生顆粒物的問題，從而達到更高的潔凈等級，為更多潔凈室等級應用提供適合的解決方案。

AAL270-XY氣浮臺

　　雅科貝思能根據不同行業不同需求，研發多款定制平臺，專業的有針對性的全套解決方案助力產業升級。

　　如有需求，請致電雅科貝思。