時間:2022-10-13 14:02:54來æºï¼šæ©Ÿå™¨äººåœ¨ç·š
  在當今快節å¥çš„人類社會ä¸ï¼Œç”±äºŽç§‘å¸å’Œå·¥ç¨‹æŠ€è¡“的快速發展,å°ä¸åŒå°ºå¯¸çš„經典物ç†é‡åœ¨ä¸åŒå·¥æ¥æŠ€è¡“應用ä¸çš„æ‡‰ç”¨è¦æ±‚進行了監控。壓阻å¼å£“力傳感器由單晶硅的壓阻效應組æˆã€‚以單晶硅芯片為彈性元件,在單晶硅膜上采用集æˆé›»è·¯å·¥è—ï¼Œæ²¿å–®æ™¶ç¡…çš„ç‰¹å®šæ–¹å‘æ“´æ•£ä¸€çµ„ç‰æ•ˆé›»é˜»ï¼Œå°‡é›»é˜»é€£æŽ¥æˆé›»æ©‹ï¼Œå°‡å–®æ™¶ç¡…片放入傳感器腔ä¸ã€‚當壓力變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散到其上的應變電阻與測é‡å£“åŠ›æˆæ£æ¯”ï¼Œç„¶åŽæ©‹å¼é›»è·¯ç²å¾—ç›¸æ‡‰çš„é›»å£“è¼¸å‡ºä¿¡è™Ÿã€‚å£“åŠ›å‚³æ„Ÿå™¨çµæ§‹åŠç‰¹é»ž?
  一ã€å£“åŠ›å‚³æ„Ÿå™¨çµæ§‹
  壓阻å¼å£“力傳感器采用集æˆå·¥è—將電阻片集æˆåˆ°å–®æ™¶ç¡…薄膜上,制æˆç¡…壓阻芯片,并將芯片固定在外殼ä¸å¼•出電極線。壓阻å¼å£“力傳感器åˆç¨±å›ºé«”å£“åŠ›å‚³æ„Ÿå™¨ï¼Œèˆ‡ç²˜è²¼å¼æ‡‰è®Šè¨ˆä¸åŒã€‚它需è¦é€šéŽå½ˆæ€§å‚³æ„Ÿå…ƒä»¶é–“接感å—外力,但通éŽç¡…膜直接感å—被測壓力。
  測é‡ä¸çš„æ‰€è¬‚â€œå£“åŠ›â€æ˜¯ç‰©ç†å¸ä¸çš„“壓力â€ï¼Œå®ƒæ˜¯åæ˜ ç‰©è³ªç‹€æ…‹çš„ä¸€å€‹é‡è¦åƒæ•¸ã€‚在壓力測é‡ä¸ï¼Œæœ‰è¡¨é¢å£“力ã€çµ•å°å£“力(絕å°å£“力)ã€è² 壓和真空度。工æ¥ä¸Šä½¿ç”¨çš„壓力指示值大多是表é¢å£“力,å³çµ•å°å£“åŠ›å’Œå¤§æ°£å£“åŠ›ä¹‹é–“çš„å·®å€¼ã€‚å› æ¤ï¼Œçµ•å°å£“力是表é¢å£“力和大氣壓力的總和。如果測é‡å£“åŠ›ä½ŽäºŽå¤§æ°£å£“åŠ›ï¼Œå‰‡ç¨±ç‚ºè² å£“æˆ–çœŸç©ºåº¦ã€‚
  在工作原ç†ä¸Šï¼Œå£“力測é‡å‚³æ„Ÿå™¨åˆ†ç‚ºå£“阻å¼å£“力傳感器ã€å£“é›»å¼å£“力傳感器,壓ç£å¼å£“力傳感器和電容å¼å£“力傳感器以åŠéœçˆ¾å£“力表ç‰ã€‚
  壓阻å¼å‚³æ„Ÿå™¨æ˜¯åˆ©ç”¨åŠå°Žé«”ææ–™çš„壓阻效應,在åŠå°Žé«”ææ–™è¥¯åº•上擴散電阻而制æˆçš„器件。基æ¿å¯ä»¥ç›´æŽ¥ç”¨ä½œæ¸¬é‡å‚³æ„Ÿå™¨å…ƒä»¶ï¼Œæ“´æ•£é›»é˜»é€£æŽ¥åˆ°åŸºæ¿ä¸çš„電橋ä¸ã€‚
  當基æ¿å› 外力而變形時,電阻值會發生變化,電橋也會產生相應的ä¸å¹³è¡¡è¼¸å‡ºã€‚用作壓阻傳感器的襯底(或薄膜)ä¸»è¦æ˜¯ç¡…芯片和éºèŠ¯ç‰‡ã€‚ä»¥ç¡…èŠ¯ç‰‡ç‚ºæ•æ„Ÿææ–™çš„硅壓阻傳感器越來越å—到人們的關注,特別是用于測é‡å£“力和速度的固態壓阻傳感器。
  二ã€å£“力傳感器特點
  1.é«˜é »éŸ¿æ‡‰ï¼Œf0高é”1.5M;
  2.é«”ç©å°ã€åŠŸè€—ä½Ž;
  3.éˆæ•åº¦é«˜ï¼Œæº–ç¢ºåº¦å¥½ï¼Œå¯æ¸¬é‡0.1%的準確度;
  4.無活動部件(æ•æ„Ÿéƒ¨ä»¶èˆ‡è½‰æ›éƒ¨ä»¶é›†æˆ)。
ã€€ã€€å£“åŠ›å‚³æ„Ÿå™¨çµæ§‹åŠç‰¹é»ž?å°äºŽå‚³æ„Ÿå™¨ä¼æ¥ä¾†èªªï¼Œæ©Ÿé‡èˆ‡æŒ‘戰并å˜ï¼Œæ›´å¤šçš„ä¸åœ‹å‚³æ„Ÿå™¨ä¼æ¥æ£æœè‘—æ£ç¢ºçš„æ–¹å‘å‰é€²ã€‚隨著工æ¥ç‰©è¯ç¶²å’Œæ™ºèƒ½åˆ¶é€ 的進æ¥ï¼Œæˆ‘ç›¸ä¿¡æœƒå‡ºç¾æ›´å¤šå„ªç§€çš„åœ‹ç”¢å‚³æ„Ÿå™¨ä¼æ¥å’Œç”¢å“。
ä¸Šä¸€ç¯‡ï¼šé‹°é›»æ± å›žæ”¶åˆ©ç”¨æœ‰ä»€ä¹ˆè¶¨å‹¢
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