?設(shè)備介紹?

　　瓦片多線切割技術(shù)現(xiàn)主要用于切割電機內(nèi)部磁材，對鋁鎳鈷、鐵氧體、釤鈷及釹鐵硼等材料進行加工。

　　隨著新能源汽車及工業(yè)自動化行業(yè)的興起，瓦片多線切割技術(shù)的應(yīng)用可以大大提高磁材的產(chǎn)出效率，減少原材料損耗，還可以縮減下道工序的工作量。

　　瓦片多線切割機是一種新型切割設(shè)備，簡稱線鋸，通過金屬絲的高速往復(fù)運動，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次性切割為數(shù)百片薄片。多線切割機以其極高的生產(chǎn)效率和出片率，在大直徑硅片加工領(lǐng)域已逐漸取代內(nèi)圓切割機。

?工藝介紹?

　　【設(shè)備傳動圖】

　　主軸上纏繞多達幾百圈金屬線用于切割產(chǎn)品。

　　張力擺桿提供恒定線網(wǎng)張力。

　　收放卷電機實現(xiàn)高速切割時金屬線的收放動作。

　　排線機構(gòu)實現(xiàn)金屬線在收放卷上均勻排布及糾偏動作。

　　工作臺升降進行產(chǎn)品切割，橫移可切割瓦片。

　　【主軸控制—力矩平衡】

　　采用四伺服主軸設(shè)計，主軸之間通過轉(zhuǎn)矩實時反饋，實現(xiàn)閉環(huán)同步控制，而無需傳送帶機構(gòu)，機構(gòu)運轉(zhuǎn)動態(tài)響應(yīng)性高，易于安裝，使用壽命更長。

　　演示視頻：

　　【收放線控制—PID控制】

　　收放線卷徑實時計算，通過速度跟隨加模糊PID控制，實現(xiàn)收放線的平穩(wěn)運行。

　　【排線控制—自動糾偏】

　　排線電機根據(jù)收放卷電機轉(zhuǎn)速做速度跟隨同步運動，實現(xiàn)金屬線高速運動時的排線動作。

　　新金屬線偶爾會有排線錯亂的情況，這種情況在高速運動時會導(dǎo)致斷線。在排線機構(gòu)上線的兩側(cè)會有銅棒或者傳感器用于采集金屬線偏移的信號，若采集到了金屬線偏移信號，排線會根據(jù)信號進行正向或者反向速度疊加運動，實現(xiàn)排線糾偏。

　　演示視頻：

　　【瓦片模式】

　　通過工作臺升降軸和橫動軸的位置跟隨同步運動，使得工作臺按照預(yù)設(shè)軌跡進給，從而切割出需要的瓦片。

　　切割成品：

　　?禾川方案?

　　【方案拓撲】

　　【性能指標】

　　1.金屬線速度：800~1200m/min。

　　2.金屬線加速度：10m/s2。

　　3.金屬線儲線量：20km以上。

　　4.擺桿擺幅：±1°以內(nèi)。

　　5.斷線率：1%以內(nèi)。

　　6.切片厚度差：2絲以內(nèi)。

　　7.張力波動：0.1N以內(nèi)。

　　8.切割模式：直片、瓦片。

　　【方案優(yōu)勢】

　　1. 工作效率高，一次可切割幾百個晶片。

　　2. 加工晶片表面損傷層淺，片間切割損耗少。

　　3. 收放線卷徑實時計算，通過算法加模糊PID控制，達到擺桿抖動±1°以內(nèi)。

　　4. 精密排線控制，能夠自動糾偏和換向，保持排線運行穩(wěn)定。

　　5. 實時采集主軸當前力矩，通過閉環(huán)同步控制，實現(xiàn)多軸力矩平衡。