按照被測量的物理性質，微型傳感器可分為化學微傳感器、生物微傳感器、物理微傳感器等。

一、離子傳感器——化學型

離子傳感器是將溶液中的離子活度轉換為電信號的傳感器。基本原理是利用固定在敏感膜上的離子識別材料有選擇性的結合被傳感的離子，從而發生膜電位或膜電壓的改變，達到檢測目的。離子敏傳感器廣泛用在化學、醫藥、食品以及生物工程等行業中。

二、基因傳感器——生物型

基因傳感器通過固定在感受器表面上的已知核苷酸序列的單鏈脫氧核糖核酸（DeoxyriboNucleicAcid,DNA）分子（也稱為ssDNA探針），和另一條互補的ssDNA分子（也稱為目稱DNA或靶DNA）雜交，形成雙鏈DNA（dsDNA），換能器將雜交過程或結果所產生的變化轉換成電、光、聲等物理信號，通過解析這些響應信號，給出相關基因的信息。基因傳感器也稱DNA傳感器。

三、聲表面波傳感器——物理型

聲表面波(SurAcousticWave，SAW)傳感器是利用聲表面波技術和微機電系統技術，將各種非電量信息，如壓力、溫度、流量、磁場強度、加速度、角速度等的變化轉換為聲表面波振器振蕩頻率的變化的裝置。