摘要：在許多高技術領域需要超精密工作臺作為其技術支持。就電磁式工作臺、直線電機式工作臺、壓電式工作臺、摩擦驅動式工作臺、MEMS工作臺和其它類型工作臺的原理、性能和應用作了介紹。并分析了它們各自的特點。根據不同的應用要求可選用合適的超精密定位方案。 關鍵詞：超精密定位 [b]1 引言 [/b] 在半導體光刻、微型機械、精密測量、超精密加工、微型裝配、生物細胞操縱和納米技術等領域，需要十分精確的定位和非常精細的運動，因此高性能的超精密定位工作臺成為了這些領域的技術支持。例如：隨著集成電路集成度的提高，線寬已向著低于亞微米的方向發展，因此在制造過程中對其定位精度有著苛刻的限制。在機械加工非圓球面時，為了得到精確的形狀和高質量的表面，對加工過程中刀具相對工件的運動精度提出了嚴格的要求。已有的MEMS加工工藝適宜制造二維或準三維的微型機械結構。想得到復雜的微型三維結構，目前較可行的方法是采用微裝配技術，即將MEMS加工制造的微型結構通過一定的方式裝配起來。要實現微裝配，需要結構小巧、在平面內有較大行程的超精密載物工作臺。而為了加大掃描隧道顯微鏡（M）的測量范圍，還需要高精度的工作臺與測頭一起實現大范圍超精密定位。 實現亞微米甚至納米級的定位，常規的驅動和傳動方式不再適合。比如，通常為了實現精密定位，往往采用伺服電機驅動和精密絲杠傳動的方案，然而此種定位方式由于螺紋空程和傳動摩擦的存在，其定位精度一般只能達到微米級。因此，尋求特殊的驅動和傳動方式，以使工作臺具有納米級的位移分辨率成為了必須。 [b][align=center] 詳細內容請點擊： 超精密定位工作臺[/align][/b]