1、時間響應性

時間響應特性是反映系統對迅速變化的指令是否可以迅速跟蹤的特性，它由瞬態響應和穩態響應兩個部分組成。該系統包含多個儲能元件，所以當輸入量傳輸到系統時，系統輸出不能立刻按照輸入量的變化，要在系統達到穩定之前體現為瞬態響應過程（或叫過度過程）。穩定響應是指加入時間t趨向無窮大時系統的輸出狀況。如果在穩態時，輸出與輸入無法完全一致，那么就認為系統有穩態誤差。系統的時間響應特性不但決定于系統結構、性能（如一階系統和二階系統就不同），并且也決定于輸入信號的種類，且隨加工目標的不同和切削用量的不同而轉變。尤其考慮到啟動、停車、正反方向等控制情況，各坐標軸速度信號的變化極為復雜。

2、頻率響應特性

時間響應特性是從微分方程出發，研究系統響應隨時間的變化規律，即在已知傳遞函數的情況下，從系統在節躍輸入及斜坡輸入期間響應速度及振蕩過程的狀況中來獲得動態特性參數。但是在許多情況下，傳遞函數模糊，所以只能通過實驗方法獲得動態特性的。所謂頻率響應特性，便是系統對正弦輸入信號的反映，即它是通過考慮系統對正弦輸入信號響應的規律來獲得它的動態特性。由于頻率特性和傳遞函數有著密切的關系，所以在工程中的應用越來越多。可以從頻率響應數據擬合成傳遞函數從而建立數學模型。

3、穩定性分析

對控制系統的基本要求是工作的穩定性。只有穩定的工作才能進一步探討性能指標。系統的穩定受多種因素的影響，其中包括機械傳動部件的慣性、阻尼、剛性和傳動比。為考察機械傳動部件的參數對系統穩定性的影響，根據穩定判斷式編制計算程序。

4、快速性分析

所謂快速性分析是指分析系統的快速響應性能，快速性反映了系統的瞬態質量。

解釋系統快速性的方法不少，有直接求解法、間接評價法以及計算機模擬法等。直接求解法較為麻煩，且難以得到系統結構和參數對于瞬態質量的影響規律；計算機仿真十分簡便，而且還能適用于復雜系統結構、多變量系統以及非線性系統等某些難以得到數學模型的系統，但是它需要一套軟件以及上機條件。間接評價法，方法比較簡單，而且能明顯地看到系統結構以及參數對于瞬態質量的影響，所以廣泛地運用在系統分析和設計。

關于線性進給伺服系統，因為它包含各種電路、機電轉換裝置以及機械傳動機構，系統各個環節都有時間常數，對于高頻信號不能及時反應，僅僅是一個低通濾波器。這類系統的通頻帶寬，對高頻信息響應速度快，是以從開環頻率特性圖看，應該要提高閉環回路的響應速度。

5、伺服精度

伺服精度的大小用誤差的大小來平衡，常講的伺服誤差是伺服系統穩態時的指令位置和實際位置的差，它反映系統的穩態質量。理想的伺服系統是在任何時刻輸出和輸入都是同步的，沒有誤差，然而這是不可能的。形成不同步的原因有很多，系統因為本身動態特性，外加負載以及內部擾動等等都可能造成實際位置與指令位置的偏移。

想要求出伺服誤差，一定要分別求出系統在輸入信號以及外加負載等等信號的共同作用下發生的輸出響應，而后按照線性系統的疊加原理將所有的響應疊加起來從而知道實際位置，然后用指令位置減去實際位置就能得到伺服誤差。