變頻器在半導(dǎo)體制造廠的應(yīng)用
時(shí)間:2008-04-29 11:12:00來源:yangliu
導(dǎo)語:?簡述了變頻器的工作原理和基本性能, 并且對(duì)變頻器應(yīng)用和選型過程中的注意事項(xiàng)以及如何根據(jù)負(fù)載的性質(zhì)來確定選用變頻器的型號(hào)進(jìn)行了較詳細(xì)的說明
摘 要:簡述了變頻器的工作原理和基本性能, 并且對(duì)變頻器應(yīng)用和選型過程中的注意事項(xiàng)以及如何根據(jù)負(fù)載的性質(zhì)來確定選用變頻器的型號(hào)進(jìn)行了較詳細(xì)的說明。
關(guān)鍵詞:變頻器 負(fù)載性質(zhì) 諧波抑制
Abstract:This paper briefly describes the working principle and fundamental performance of frequency converter,ales the atten—tion points in frequency converter application and type selection process,and how to select a proper frequency converter type according to specific characteristics of load.
Key words:Inverter Load characteristics Harmonic suppression
1 引言
半導(dǎo)體制造業(yè)是全球十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)之一,是技術(shù)資金密集,技術(shù)進(jìn)步和投資風(fēng)險(xiǎn)高的產(chǎn)業(yè)。中緯公司當(dāng)前是6 英時(shí)芯片制造項(xiàng)目。廠務(wù)系統(tǒng)使用相當(dāng)多的變頻器。變頻驅(qū)動(dòng)裝置具有平滑和穩(wěn)定的運(yùn)行特性將提高廠務(wù)設(shè)備的運(yùn)行穩(wěn)定,降低對(duì)機(jī)械和生產(chǎn)設(shè)備的沖擊應(yīng)力及節(jié)能降耗有積極意義。主要應(yīng)用在廠務(wù)Clearoom的MAU,EXHAUST及HVAC,UPW,PCW 等System運(yùn)行3年取得較好的效果。
公司使用AB品牌的PowerFlex700交流變頻器及1336 PLUS II變頻器,主要應(yīng)用于廠務(wù)的HVAC,C/R系統(tǒng),該變頻器提供一種對(duì)電源、控制和操作員界面的靈活封裝,用于滿足空間、靈活性和可靠性要求, 并提供豐富的功能,允許用戶對(duì)大多數(shù)應(yīng)用很容易地對(duì)變頻器進(jìn)行組態(tài)等優(yōu)點(diǎn)。
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