變頻器在半導體制造廠的應用
時間:2008-04-29 11:12:00來源:yangliu
導語:?簡述了變頻器的工作原理和基本性能, 并且對變頻器應用和選型過程中的注意事項以及如何根據負載的性質來確定選用變頻器的型號進行了較詳細的說明
摘 要:簡述了變頻器的工作原理和基本性能, 并且對變頻器應用和選型過程中的注意事項以及如何根據負載的性質來確定選用變頻器的型號進行了較詳細的說明。
關鍵詞:變頻器 負載性質 諧波抑制
Abstract:This paper briefly describes the working principle and fundamental performance of frequency converter,ales the atten—tion points in frequency converter application and type selection process,and how to select a proper frequency converter type according to specific characteristics of load.
Key words:Inverter Load characteristics Harmonic suppression
1 引言
半導體制造業是全球十大重點產業之一,是技術資金密集,技術進步和投資風險高的產業。中緯公司當前是6 英時芯片制造項目。廠務系統使用相當多的變頻器。變頻驅動裝置具有平滑和穩定的運行特性將提高廠務設備的運行穩定,降低對機械和生產設備的沖擊應力及節能降耗有積極意義。主要應用在廠務Clearoom的MAU,EXHAUST及HVAC,UPW,PCW 等System運行3年取得較好的效果。
公司使用AB品牌的PowerFlex700交流變頻器及1336 PLUS II變頻器,主要應用于廠務的HVAC,C/R系統,該變頻器提供一種對電源、控制和操作員界面的靈活封裝,用于滿足空間、靈活性和可靠性要求, 并提供豐富的功能,允許用戶對大多數應用很容易地對變頻器進行組態等優點。
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