[b][align=center]The research ofthe large travel and h J_gb precision two—level table WANG Li—song，SU Bao～ku， DONG Shen，ZHANG Jing （Harbin Institute of Tehno]ngy，Harbin 15000i。China）[/align][/b] 摘要：研究了具有宏微兩級驅動歧定位工作臺的控制技術，誼工作臺采用直線電機進行大位移驅動，來保證較走的工作行程和較快的響應速度，而采用電致伸縮微位移器完成精密位置驅動，利用單頻激光干涉儀實現閉環位置反饋。將該系統應用于實際中，可雙實現500mm的工作行程內小于0．02um的重復定位精度。 關鍵詞：直線電機；電致伸縮微位移器；單頻激光干涉儀 Abstract：A coorse-fine combined positioning table was studied in this paper．A linear motor and a pieoelectric aduator were adopted to drive the table By feedback control technique,the accuracy of the system was controlled to be smaller than 0.02um and the tray ofthe system was 500mm Keywords：Linear motor；Pie～oelectrlc actuator；Single frequency laser interferometer 微型機電系統的制造與檢測、太規模集成電路的生產、超精密機械加工及其精密測量，都離不開超精密定位技術，超精密定位技術已成為精密工程領域的關鍵技術之一。傳統上一般采用交流或直流伺服電機和滾珠絲杠相結合實現直線進給。然而這種結構的系統由于中閫傳動環節的問隙和彈性變形，系統很難獲得高精度。采用電致仲縮傲位移器驅動黍性工作臺．利用閉環反饋控制技術，可以很容易實現納米尺度的超精密定位。但由于電致伸縮微位移器最大工作范圍只有幾十微米，所以該控制方式無法實現太行程。為解決太行程和高精度的矛盾．這里采用了宏、徽兩級定位的控制方法，采用較低定位精度的宏定位系統來實現大行程序定位。其寇位誤差由高定位精度的微定位系統來樸償，以使系統得到較高的定位性能和輕快的響應速度．井大大的縮減了系統的結構。 [b][align=center]詳細內容請點擊： 大行程高精度兩級定位工作臺的控制方法研究[/align][/b]