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ABL9000
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產品介紹
ABL9000氣浮平臺
1世上最高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
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