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IBM和JSR將就新一代半導體工藝基礎研究展開合作

時間:2007-12-12

來源:中國傳動網

導語:美國IBM和JSR就半導體新一代材料及工藝,共同簽訂了促進基礎研究的合同。依據合作協定

美國IBM和JSR就半導體新一代材料及工藝,共同簽訂了促進基礎研究的合同。依據合作協定,JSR將向IBM的阿爾馬丁研究中心(Almaden Research Center,美國加利福尼亞州)派遣數名研究人員。為提高半導體芯片的速度、縮小芯片尺寸及節省電力,兩公司將共同開發新型光刻技術和采用自組織反應的技術等。 JSR于07年12月剛剛宣布加速開發液浸ArF曝光用上層膜材料等半導體制造的尖端材料。IBM也于07年5月發布了將自組織反應應用于半導體電路形成的技術。
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