一向孱弱的本土半導體設備企業再度讓人驚訝。 　　 在上周于日本舉行的Semicon（全球半導體材料與設備展會）上，上海中微半導體公司（下稱“中微”）宣布，其獨立研發的用于65納米至45納米高端芯片生產的設備，正式進入全球頂級半導體主流設備市場。 業內人士表示，中微可能已進入臺積電、中芯國際采購體系。這兩家國際巨頭一直積極推動設備與零部件的本地化生產。其中，臺積電的目標是，2009年設備本地化生產的比例將提升到50%。而中芯國際之前也已在北京、天津工廠已采用大陸中科信、北方微電子等本土設備。 這也是國家“十一五”計劃將半導體設備列為關鍵發展戰略的背景。信產部副司長丁文武之前對本報表示，“十一五”期間，中國將力爭在6英寸線設備上完全自主，8英寸線光刻機等設備實現實用，12英寸線65納米光刻機等設備有所突破。 中微推出的是一臺刻蝕機與一臺高壓熱化學沉積機器，這是中國大陸半導體設備企業首次推出面向上述制程工藝的設備。中微董事長、CEO尹志堯說，半導體產業的成本已成為決定芯片制造公司能否成功的關鍵之一。全球半導體市場正持續朝消費電子轉向，消費者對終端價格的敏感讓上游芯片企業感受到前所未有的壓力，這為中微帶來了機會。 尹志堯透露，目前，兩類設備已經向著名的半導體制造公司正式出貨。 國際IT調研機構Gartner表示，亞洲未來將成為全球半導體制造業的中心和半導體設備生產的熱土，因為66%的半導體器件、75%的設備都銷向這里。 中微崛起的原因，在于它的團隊與背后資本。尹志堯此前曾先后擔任英特爾半導體技術高管、設備龍頭美國應用材料公司全球副總裁，專門從事高端技術研發。在國際投資者口中，中微已成為本土“應用材料”，在其背后，閃耀著華登國際、高盛、光速、紅點、美國科天等國際著名風險投資的名字。 不過，尷尬的是，盡管中微等本土企業已有明顯突破，但相對產業鏈其他環節，設備業仍是目前中國半導體產業中發展速度最慢的一環。