傳動網 > 新聞頻道 > 行業資訊 > 資訊詳情

北京優納無掩模光刻設備研發成功

時間：2010-04-02

來源：北京優納科技有限公司

導語：優納科技與其日本控股公司共同完成無掩模光刻設備的研發，成為國內第一臺基于數字微反射技術實現的無掩模光刻的設備。

      優納科技與其日本控股公司共同完成無掩模(Maskless)光刻(Lithography)設備的研發，成為國內第一臺基于數字微反射（DMD）技術實現的無掩模光刻的設備，該設備可廣泛應用于納米電子，平板顯示，半導體，MEMS，μTAS，LCD，s生物芯片，和各類功能材料等領域，該設備具有以下特點：

      1，利用DMD的縮影投射技術實現1每米的像素

      2，實現薄膜透明材料的自動對焦

      3，利用灰度圖像投影可實現三維保護膜加工

      4，采用405納米波長LED光源，極大提高設備的可維護性和使用壽命

      5，利用TTL（through-the-lens）對位技術實現高精度位置對準

      6，可以實現不同厚度（亞微米-100微米以上）的保護膜兼容

      7，重復位置精度0.1微米

      8，各類光刻參數可以自由調節實現各種光刻的需要，可以制作出高質量的光變圖像,例如2D圖像,2D/3D圖像,3D圖像以及各種精密的微刻圖像和文字等

      9，支持標準CAD格式，兼容DXF，GDSII等

中傳動網版權與免責聲明：

凡本網注明[來源：中國傳動網]的所有文字、圖片、音視和視頻文件，版權均為中國傳動網(www.hysjfh.com)獨家所有。如需轉載請與0755-82949061聯系。任何媒體、網站或個人轉載使用時須注明來源“中國傳動網”，違反者本網將追究其法律責任。

本網轉載并注明其他來源的稿件，均來自互聯網或業內投稿人士，版權屬于原版權人。轉載請保留稿件來源及作者，禁止擅自篡改，違者自負版權法律責任。

如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。

關注伺服與運動控制公眾號獲取更多資訊

關注直驅與傳動公眾號獲取更多資訊

關注中國傳動網公眾號獲取更多資訊

最新新聞
查看更多資訊

熱搜詞
  • 運動控制
  • 伺服系統
  • 機器視覺
  • 機械傳動
  • 編碼器
  • 直驅系統
  • 工業電源
  • 電力電子
  • 工業互聯
  • 高壓變頻器
  • 中低壓變頻器
  • 傳感器
  • 人機界面
  • PLC
  • 電氣聯接
  • 工業機器人
  • 低壓電器
  • 機柜
回頂部
點贊 0
取消 0