PI采用磁懸浮技術(shù)
實(shí)現(xiàn)更高的高精度定位水平
皮米級(jí)分辨率
通過將磁性導(dǎo)向裝置和專用高精度驅(qū)動(dòng)和傳感器技術(shù)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)和低至皮米級(jí)的最高分辨率。
六自由度的主動(dòng)控制
利用主動(dòng)控制和多達(dá)6個(gè)自由度的導(dǎo)向特性定義功能，可執(zhí)行額外的校正任務(wù)，例如在操作期間進(jìn)行沿Z向?qū)够蛘{(diào)整偏擺角度。
非接觸式操作
無摩擦導(dǎo)向原理，有效避免滾動(dòng)元件、潤滑和氣流，從而確保在整個(gè)使用壽命內(nèi)實(shí)現(xiàn)最高精度，且可適用于無塵室環(huán)境。
市場和應(yīng)用
在定位解決方案的開發(fā)中利用磁懸浮技術(shù)的特性，實(shí)現(xiàn)高精度、快速和無磨損的運(yùn)動(dòng)。這可以將要求苛刻的半導(dǎo)體制造或顯微鏡檢驗(yàn)任務(wù)中的成像質(zhì)量提高到一個(gè)全新的精度水平。
"磁懸浮技術(shù)的獨(dú)特之處在于我們可以在機(jī)械系統(tǒng)內(nèi)使用無接觸軸承。”我們的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)和磁驅(qū)動(dòng)專家Christian Rudolf博士，深入探討了PI磁懸浮解決方案的 激動(dòng)人心的開發(fā)過程。
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