亮相慕尼黑光博會
雅科貝思將亮相2023年慕尼黑光博會,屆時,雅科貝思將展出激光微加工平臺、氣浮轉臺、氣浮平臺、高速龍門、振鏡控制器等產品,誠邀各位蒞臨雅科貝思展位參觀洽談。
? 激光微加工平臺
產品特點
? 高精密直線電機運動平臺,
閉環光柵尺控制
? 振鏡與平臺同步控制
? 振鏡實時補償平臺跟隨誤差,
實現高速高精度掃描
? 激光脈沖位置同步輸出功能(PSO)
? 優化軌跡規劃算法,實現最大的加工效率
? 采用EtherCAT通信網絡,最大支持32軸
? 支持G代碼控制
? 相機輔助自動定位,在線測量
適用于
切割、燒蝕、打標、焊接、打孔、劃片等激光微加工工藝。
? 高精氣浮轉臺
產品特點
? 中孔設計方便電纜或激光穿過
? 內置無刷直驅電機
? 結構緊湊,高剛性
? 扁平設計有助于降低系統高度,
最小化堆疊誤差
? 超低速度波動
? 低軸向/徑向端跳<100nm
? 重復定位精度可達±0.5arcsec
適用于
光學檢測、晶圓檢測、納米技術設備制造、光學制造等
? XY高精氣浮平臺
該系列集成了氣浮導軌、直線電機、高精度光學編碼器、高柔屏蔽線纜等零部件。
產品特點
? 自產高剛性氣浮導軌(專利技術)
? 300mm行程雙向重復定位精度
<0.15(±0.075)μm
? 300mm行程平面度<±0.75μm
適用于
晶圓檢測、單點鉆石車削、激光微加工等
? 高速龍門
產品特點
? 高速高加速龍門結構
? 加速度可達3g
? 速度可達3m/s
? 行程 600*600mm
適用于
半導體貼片設備、微組裝及測試等
? 磁彈簧配重Z軸
產品特點
? 使用交叉滾柱導軌
? 無鐵芯直線電機
? 動磁鐵結構設計,方便線纜管理
? 磁平衡Z軸模組,行程范圍內穩定重力補償
? 無需額外供電或壓縮空氣
? 高精度:重復定位精度±0.3μm,
直線度±2.0μm,平面度±2.5μm
適用于
精密激光加工、激光切割、光學調焦、晶圓檢測、表面粗糙度檢測等需要高精度的工業和科研項目。
? 振鏡與平臺聯動系統
產品特點
? 振鏡與平臺聯動,實現高效加工
? 振鏡可補償平臺機誤差,提升系統精度
? 支持PSO功能,提升加工質量
? 支持軟件定制,提高系統易用性
適用于
醫療、消費電子、新能源、3C、半導體、航空航天等領域的切割、打標、打孔、焊接等激光微加工。
? AM微型平臺(堆疊)
產品特點
? 采用直驅技術,使用防蠕動導軌
? 緊湊型可疊加結構設計
? AMG測角儀可疊加使用,實現圍繞同一旋轉中心的角度運動
適用于
半導體、光學、醫療及自動化領域。適用于光學組裝與檢測、光纖對準與優化、傳感器測試和確認等應用場景。
? 激光振鏡控制器
主控制器
振鏡控制器
SGS GJm是一款基于EtherCAT工業以太網的雙通道激光振鏡控制器,控制器內部搭載ARM Cortex處理器及獨立的FPGA硬件加速單元,具備強大的處理性能。
同時,控制器集成了特有的振鏡控制算法以及激光控制算法,可以完成優異的激光振鏡加工工藝。