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　　雅科貝思將亮相2023 Semicon China展會，屆時，雅科貝思將展出多款半導體行業專用高精直驅產品及解決方案，如：ZTPR晶圓檢測模塊、ADR-H系列高速力矩電機、高精氣浮平臺、真空電機等產品，誠邀各位蒞臨雅科貝思展位參觀洽談。

　　? ZTPR晶圓檢測四軸ZT模塊

　　PGS-ZTPR提供4個自由度的運動，在Z向提供4mm的對焦行程并可對Rx和Ry(Tip–Tilt)實現微調，T軸可實現超過200°的旋轉。

　　產品特點

　　◇ 磁浮電機

　　◇ 柔性鉸鏈導向

　　◇ 負載可達2.5kg

　　◇ 集成真空傳感器，電磁閥和溫度傳感器

　　適用于

　　薄膜測量、OCD光學線寬測量等

　　? 高精氣浮轉臺

　　產品特點

　　◇ 中孔設計方便電纜或激光穿過

　　◇ 內置無刷直驅電機

　　◇ 結構緊湊，高剛性

　　◇ 扁平設計有助于降低系統高度，

　　最小化堆疊誤差

　　◇ 超低速度波動

　　◇ 低軸向/徑向端跳<100nm

　　◇ 重復定位精度可達±0.5arcsec

　　適用于

　　光學檢測、晶圓檢測、納米技術設備制造、光學制造等

　　? XY高精氣浮平臺

　　該系列集成了氣浮導軌、直線電機、高精度光學編碼器、高柔屏蔽線纜等零部件。

　　產品特點

　　◇ 自產高剛性氣浮導軌(專利技術)

　　◇ 300mm行程雙向重復定位精度

　　<0.15(±0.075)μm

　　◇ 300mm行程平面度<±0.75μm

　　適用于

　　晶圓檢測、單點鉆石車削、激光微加工等

　　? 分選機專用高速力矩電機

　　轉塔式分選機尤其適用于小型片式半導體分立元件的打標、測試、分選和包裝，是一種主轉盤在中心，各個測試工位按照順序均布在主電機周圍的一種高速分選機，通常包含工位有16個和24個等多種型號。

　　產品特點

　　◇ 直驅無刷電機

　　◇ 低慣量設計，轉動慣量低至0.0025kg·m2

　　◇ 重復定位精度可達±2arcsec

　　適用于

　　芯片焊接機、分選機等

　　? 真空直線電機

　　產品特點

　　◇ 低釋氣

　　◇ 真空兼容(RGA測試)

　　◇ 無鐵芯技術

　　◇ 零齒槽力

　　◇ 高持續力和峰值力

　　◇ 持續力范圍: 4.5N~769N

　　適用于

　　前道/后道晶圓搬運及檢測設備、玻璃及液晶面板，生物醫療設備等有真空要求的場合

　　? 真空旋轉電機(接受定制)

　　產品特點

　　◇ 低釋氣

　　◇ 高真空度10-7 torr

　　◇ 直驅無刷永磁電機

　　? 高速龍門

　　產品特點

　　◇ 高速高加速龍門結構

　　◇ 加速度可達3g

　　◇ 速度可達3m/s

　　◇ 行程 600*600mm

　　適用于

　　半導體貼片設備、微組裝及測試等

　　? 龍門平臺(運動控制和驅動)

　　產品特點

　　◇ 柔性龍門控制，搭配3D誤差補償

　　◇ 星型拓撲結構,實現8軸61μs的刷新頻率

　　◇ CNC模式，支持G代碼、M代碼

　　? 主動隔振器

　　產品特點

　　◇ 減震器采用氣囊實現被動隔振，由音圈電機實現主動減振

　　◇ 使用音圈電機快速響應，實現六自由度方向振動消除

　　◇ 主要配置:氣浮模塊、制動器模塊、信號監控模塊、控制器模塊

　　更多半導體行業直驅解決方案等你來雅科貝思展位現場解鎖~