5月12日,科友半導體宣布,公司自主研發出兩種不同加熱方式的PVT法晶體生長爐,完成了國產自主1至4代感應爐和1至3代電阻爐的研發,形成大尺寸低成本碳化硅產業化制備系列技術,并實現了6英寸碳化硅單晶襯底的規模生產和批量供貨,8英寸碳化硅單晶襯底的小批量生產及供貨,向碳化硅晶體生長企業提供涵蓋設備、材料及技術服務等全產業鏈的解決方案。
突破如下:熱場及耗材國產化率達到95%以上;長晶良率達到80%以上,晶體厚度達到40mm以上;打破傳統碳化硅粘接籽晶技術的限制;突破了大尺寸8英寸碳化硅單晶制備的關鍵技術;超強的兼容性;已申請專利129項,目前授權專利61項。
資料顯示,科友半導體成立于2018年5月,是一家專注于第三代半導體裝備研發、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術企業,研發覆蓋半導體裝備研制、長晶工藝、襯底加工等多個領域,已形成自主知識產權,實現先進技術自主可控。
科友半導體在哈爾濱新區打造產、學、研一體化的第三代半導體產學研聚集區,實現碳化硅材料端從原材料提純-裝備制造-晶體生長-襯底加工-外延晶圓的材料端全產業鏈閉合,致力成為第三代半導體關鍵材料和高端裝備主要供應商。