經濟高效的缺陷掃描和定位

　　由于特征尺寸的減小和設計復雜度的增加，晶圓檢驗(即在起始晶圓或基板或者成品器件中尋找缺陷的科學)的要求越來越苛刻、挑戰(zhàn)性不斷增加且成本日益高昂。在整個制造過程中分析每道工步的缺陷至關重要，因為隨著接近成品器件，檢驗流程變得更具挑戰(zhàn)性且成本更加高昂。借助缺陷檢驗分步掃描，半導體制造商能夠通過早期缺陷檢測來防止成品率損失，從而降低成本。半導體工藝和檢驗在很大程度上依賴于精密運動和提供具有嚴格速度調節(jié)的同步多軸動態(tài)性能的能力。PI提供多種專為滿足工藝和檢驗應用的高要求而量身定制的精密運動平臺。

　　該運動解決方案的主要特點

　　·高處理能力

　　·高度可重復定位

　　·模塊化和可擴展設計

　　·輕松集成附加軸

　　·經濟高效，交付快捷

　　θZ軸 – 晶圓或基板的精細旋轉分度和對準

　　·高精度且可重復的360度旋轉，無空回

　　·磁性直接驅動器可實現高速度和加速度

　　·直接驅動、無槽、無刷力矩電機可提供非常低的齒槽轉矩并實現平穩(wěn)的速度和低誤差運動?

　　·超精密滾珠軸承由內部開發(fā)和制造，因此可縮短交付時間并降低價格。

　　直接驅動力矩電機技術

　　Z軸 – 精密晶圓對準

　　·低外形、結構緊湊的優(yōu)異機械設計?

　　·直接驅動無鐵芯電機技術意味著零齒槽效應并確保平滑的掃描速度或精密的增量步進?

　　·高分辨率編碼器可實現運動平臺的納米級定位?

　　·高精度防蠕動交叉滾柱軸承?

　　·斷電自鎖功能可防止碰撞?

　　·經濟實惠，交付快捷

　　直接驅動電機技術

　　電能以機電方式轉換為力：借助于“右手定則”，可以確定相對于電流和磁場方向的力方向

　　XY軸 – 精密步進和掃描運動

　　·高動態(tài)無鐵芯線性電機可在長行程內實現快速精密的輪廓加工?

　　·絕對編碼器可避免參考并確保運行期間的安全性?

　　·低外形剛性平臺可減少阿貝偏移?

　　·設計可實現高度的靈活性和可擴展性?

　　·優(yōu)化的集成電纜管理可減少運動阻力并延長使用壽命?

　　·花崗巖底座確保運動系統(tǒng)的較高性能

　　直接驅動線性電機平臺?

　　靈活輕松的自動化控制

　　·EtherCAT運動控制和驅動模塊提供開放式網絡連接

　　·先進算法提供快速步進和穩(wěn)定、高就位穩(wěn)定性以及出色的恒定掃描速度

　　·廣泛的編程環(huán)境并支持高級語言

　　·控制器具有自動聚焦功能，可實現動態(tài)聚焦調整

　　·前瞻功能可調整速度以保持精度

　　·輕松編程運動路徑，包括G代碼

　　·ServoBoost?

　　·G-901運動控制器