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國內射頻電源行業技術水平現狀

時間：2014-12-10

來源：網絡轉載

導語：目前國內先進的等離子體設備使用的射頻電源，其主要技術性能（如輸出功率、頻率，阻抗匹配網絡等）已和國外同類電源基本一致，但在自動化程度上，體積上以及應用領域方面還有一定的差距。

目前國內先進的等離子體設備使用的射頻電源，其主要技術性能（如輸出功率、頻率，阻抗匹配網絡等）已和國外同類電源基本一致，但在自動化程度上，體積上以及應用領域方面還有一定的差距。因此，要跟上國際水平，還要開展以下一些工作。

1、現在國內的射頻電源采用的都是電子管或電子管、晶體管混合電路，體積較天，在一些要考慮體積的地方，限制了它的應用。因而需要采用新技術、新元器件，使射頻電源固態化，小型化。

2、阻抗匹配網絡是正確使用好射頻電源的重要部件。在國外，阻抗自動匹配網絡已產品化，除了部分濺射、淀積設備照舊使用外，其它等離子體設備，尤其是RIE都已配備上自動的阻抗匹配網絡，從而使設備更趨于完善。在國內這方面還是手動的，雖然在一般情況下可以滿足工藝要求，但操作時不能離人，稍不注意仍會匹配不好。用自動取代手動匹配也是當務之急的工作。

3、開擴射頻電源的應用領域，研制多性能、多品種的射頻電源，如寬頻帶電源、微波電源等。為電源的發展開創新的道路。

4、為了較快地趕上國際水平，引進國外的先進技術，根據我國的實際情況，對電源進行改造、更新是發展電源的最快途徑。

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