現代微電子和涂布硅片光伏電子。最具成本效益的生產方法是減少單個晶體管,CPU芯片和太陽能電池從大型單位稱為硅晶圓。這意味著高度無菌硅片必須準確和可重復涂于一系列不同的物質。特殊臥式爐用于這一制造過程,因為它們允許的條件定義相關的反應。高性能、非常可靠的現代微驅動器適合爐物流,即裝卸爐管和爐門的開啟和關閉。

幾乎所有的現代電子設備是基于硅片將一系列組件,如晶體管。他們需要迅速和大量生產,以提供具有成本效益的定價對單個芯片。芯片因此產生大量被稱為“晶”的物體,這是硅表測量100至300毫米,,然后分開。特定的晶片表面處理也可能涉及大氣吸收的磷和硼化合物在低壓化學氣相沉積(CVD)。Tempress系統容積Vaassen在荷蘭已經開發出一種高度靈活的臥式爐提供芯片制造商的高度靈活性。爐用于大規模生產太陽能電池基于晶片質量。健壯的微drivess開發的微驅動器專家FAULHABERSchonaich斯圖加特附近用于加載個人爐管道。他們也會自動關閉爐門,這是一個至關重要的安全功能,高活性化學物質用于熔爐。

定做晶片治療

電子行業生產方式變化更快比幾乎任何其他部門。因此所有需要使用的系統的靈活適應能力。

各種不同的生產需求。臥式爐實施這些行業需求的完美。四個反應爐室橫向排列,含156mmx156mm晶圓生產的太陽能電池。大約有400到500晶圓管,所以它只需要一個過程的外套高達每小時1500晶片。太陽能電池板生產、晶圓的面積平均后可以用于生成4W的能量。如果你認為一個普通住宅屋頂有大約50板生產約200W,Tempress爐的產量代表太陽能電氣性能每年30到35MW。高吞吐量水平允許具有成本效益的大規模生產的太陽能電池。鍋爐在正常工作壓力或真空,氣溫介于380和1380°C。因為晶片床單是昂貴的,過程的可靠性是至關重要的,所有的組件必須滿足嚴格的要求。Tempress數據管理系統允許范圍廣泛的參數配置,從溫度管理通過精確測量氣體壓力控制。有一個特殊的加載系統的加載和卸載個別爐管。微驅動器作為執行機構。驅動器的主要要求是一個高水平的從一個非常緊湊的驅動轉矩,加上精密定位。也是,驅動器必須非常可靠。畢竟,錯誤的代價非常昂貴,因為高成本水平和腐蝕性化學物質的使用。穩健設計的行星齒輪也是一個決定性因素。執行機構選擇的公司的其他好處包括完成驅動的緊湊設計,匹配的編碼器,其活力和直觀的控制。

微drivess——強勁和精確

FAULHABER范圍的各種驅動解決方案部署在不同的熔爐。加載系統,例如,使用一個DC-Micro驅動器。diameter-compliant行星齒輪減少速度,同時增加了驅動轉矩。根據設計(正常或heavy-loader),使用的驅動器有一個直徑32和38毫米轉換比率和金屬行星齒輪迷14:1或3.71:1。在兩個版本,有插件編碼器,使晶片的精確定位系統基于256脈沖的電機軸的革命。齒輪轉換也會增加驅動軸的精度。有更嚴格的要求關閉爐門的安全性至關重要的功能。必須保證可靠的鎖定系統,以確保氣體不從爐管泄露。這就是為什么電機編碼器和行星齒輪一些模型也安裝了電磁剎車。這些保證車門關閉安全甚至在發生停電。制動單元也插入到32毫米電動機,與整個單元包括電機——僅72.5毫米。

現代微drivess提供的所有功能更大的緊湊的空間內的驅動器。無論是編碼器,齒輪迷或剎車,幾乎所有組件現在可以在小型形式。他們的一流設計可靠性保證高水平的過程。

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